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SOI硅片/PZT

真空系統定制

MEMS加工

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    源帆科技

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    ? ? ? ?北京源帆科技有限公司是一家專業從事半導體、MEMS、光學、生物等領域,相關芯片、耗材產業的開發、制造、銷售和服務于一體的企業。成立于2015年,是由一批致力于MEMS微細加工與測試的專業人才創辦,是KST World公司長期授權的中國代理,是多家集成電路制造商、國內外封裝企業長期戰略合作伙伴。
    ? ? ? ? 公司傍依于北京完善的產、學、研、用布局,獲得多家著名院校、研究機構技術支持,具備完善的創新研發能力。公司可提供多條生產線并行研發,設備齊全,可進行各類單項、成套微細加工服務,適合各類加工需求。
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    硅片 石英片

    質量可靠

    專業服務

    精工品質,值得信賴
    貨源穩定,供貨及時

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    我們的服務

    Our services

    定制化生長PZT壓電薄膜

    批量SOI晶圓定制

    MEMS技術、產線服務

    非標高真空平臺測試系統定制服務

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    >?實現4、6、8寸硅晶圓、SOI晶圓上生長1-5um厚的PZT薄膜,可帶上下電極
    >?壓電薄膜性能實現d31≥200pm/V,e31≥10C/m2,成膜均勻性±5%,應力可控
    >?接受小批量定制4、6、8寸SOI片,價格合理供貨快
    >?頂硅厚度≥2um,背硅厚度≤725um,氧化層厚度≤3um,均可定制,TTV最小可達到1um
    >?基于SOI傳感器件的晶圓流片解決方案
    >?MEME微納加工設備的進口代理,整體工藝路線的解決方案
    > 可根據客戶要求,非標定制系統整體解決方案
    > 超低溫,超高溫,高真空自動化系統一站式解決
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