我們的服務
Our services
定制化生長PZT壓電薄膜
批量SOI晶圓定制
MEMS技術、產線服務
非標高真空平臺測試系統定制服務
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>?實現4、6、8寸硅晶圓、SOI晶圓上生長1-5um厚的PZT薄膜,可帶上下電極
>?壓電薄膜性能實現d31≥200pm/V,e31≥10C/m2,成膜均勻性±5%,應力可控
>?接受小批量定制4、6、8寸SOI片,價格合理供貨快
>?頂硅厚度≥2um,背硅厚度≤725um,氧化層厚度≤3um,均可定制,TTV最小可達到1um
>?基于SOI傳感器件的晶圓流片解決方案
>?MEME微納加工設備的進口代理,整體工藝路線的解決方案
> 可根據客戶要求,非標定制系統整體解決方案
> 超低溫,超高溫,高真空自動化系統一站式解決