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MEMS加工
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MEMS加工

提供專業MEMS加工服務,解決加工工藝難點!
掩膜板設計加工制作,清洗、光刻、磁控濺射、蒸發、鍵合、PECVD、LPCVD、離子注入、ALD、刻蝕、深刻蝕、濕法腐蝕、電鍍、TSV深孔電鍍等在內的全流程系列工藝。
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MEMS技術、產線服務:

1.基于SOI片、硅片的傳感器流片代加工服務4、6、8寸,其中Si的DRIE刻蝕工藝(深度1-650um,陡直度≥89°)、PECVD低溫長膜工藝,調控應力工藝等;

2.玻璃晶圓、石英片、PMMA、PET等襯底微納加工服務,包括光刻、刻蝕、長膜、濺射金屬(Cr、Au、Ti、Ni、Cu、Pt、SiO2、Nb)、電鍍Au、Cu、Ni(1-50um)等



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