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PZT壓電薄膜代加工
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PZT壓電薄膜代加工

代理日本進口鍍PZT薄膜膜硅片、SOI片,規格可滿足4寸、6寸、8寸。
日本進口PZT鍍膜產品,具有成膜溫度低、成膜速率快、成膜均勻性好、壓電系數高、疲勞特性好等特點,廣泛應用于MEMS傳感器件,在壓電超聲波傳感器、壓電換能器、壓電執行器中得到越來越多的應用,是下一代傳感器件的優良材料。
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定制化生長PZT壓電薄膜

1、實現4、6、8寸硅晶圓、SOI晶圓上生長1-5um厚的PZT薄膜,可帶上下電極

2、壓電薄膜性能實現d31≥200pm/V,e31≥15.8C/m2,成膜均勻性±5%,應力可控

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