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多功能高真空實驗系統
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多功能高真空實驗系統

為科研院所提供定制多功能高真空測試平臺系統
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一、多功能高真空測試系統


該測試系統的效果圖如下:



該項目一個是定制的多功能真空系統,真空度優于1E-6Pa;

腔內體內置可移動樣品臺,面積65*65mm,變溫范圍:-75℃~200℃

配有顯微鏡,電子槍,分子泵,高精度電信號法蘭,真空計等。

可完成I-V,P-V?等曲線測量; 電流,電壓等測量。


下圖是實物:


二、高真空試驗平臺系統


該系統腔室滿足上方開門方式,實現方便開爐門,進而實現方便放置和取出樣件。腔體真空度可達1E-4Pa

腔室配有以下接口:

(1)激光入口:在腔室正上方,激光射入腔室內樣件平臺,對平臺上的樣件進行激光照射;

(2)熱成像儀檢測口:在腔室上方斜45°,熱成像儀可檢測腔室內樣件的溫度;

(3)CCD檢測口:在腔室上方斜45°,CCD系統可檢測腔室內工藝狀態;

(4)腔室內部設置樣品臺,尺寸在10厘米*10厘米,配套熱電偶,最大檢測溫度1600℃);

(5)真空接口:在腔室側面,可接真空泵;

(6)工藝氣體進入口:在腔室側面,可接質量流量計;

(7)氣體報警接口:在腔室側面,可接入氣體報警的相關傳感器;


下圖為實物:


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