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Cavity-SOI片
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Cavity-SOI片

源帆科技可以提供一般SOI晶圓,還可以為客戶提供Cavity SOI等特殊要求的晶圓
Cavity SOI晶圓對MEMS Device制造的效率和合格率等有非常大的幫助,可大幅減少成本。並且Thick-BOX? SOI晶圓經本公司獨有的超厚膜熱氧化膜加工技術,可讓SOI晶圓擁有前所未有的Box層厚度,可提早實現矽光(Silicon Photonics)與超高耐壓的半導體power device。
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? ? ?本公司除了可以提供一般SOI晶圓外,還可以為客戶提供Cavity SOI等特殊要求的晶圓

? ? ?Cavity SOI晶圓對MEMS Device制造的效率和合格率等有非常大的幫助,可大幅減少成本。並且Thick-BOX? SOI晶圓經本公司獨有的超厚膜熱氧化膜加工技術,可讓SOI晶圓擁有前所未有的Box層厚度,可提早實現矽光(Silicon Photonics)與超高耐壓的半導體power device。

? ? ?Cavity SOI晶圓為層積構造晶圓內部擁有空洞等構造(Cavity構造)的SOI 晶圓。 可以消減切割后的制程,可提高產品的生產量。並且,Cavity構造能夠在不同材質的基板上成形Box層,或是依照客戶需求來成形。

? ? ?根據不同客戶的要求,我們常規可提供的結構型式如下:如有特殊需求,歡迎來電咨詢。

根據不同客戶的要求,我們常規可提供的結構型式如下:如有特殊需求,歡迎來電咨詢。




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