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MEMS加工

掩膜板設計加工制作，清洗、光刻、磁控濺射、蒸發、鍵合、PECVD、LPCVD、離子注入、ALD、刻蝕、深刻蝕、濕法腐蝕、電鍍、TSV深孔電鍍等在內的全流程系列工藝。